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Service List卓上型分析走査電子顕微鏡(TM3000/EDS)

装置について

装置写真

動作原理につきましては、電解放射型走査電子顕微鏡を参照ください。

装置仕様

メーカー・形式(株)日立ハイテクノロジーズ・TM3000
倍率画像表示倍率:15倍~30,000倍(ステップ切替(*1))、デジタルズーム:2倍、4倍
ただし、低倍率は加速電圧、D(*2)、画面サイズにより異なります。
観察条件設定表面/通常/高輝度
観察モード標準モード、帯電軽減モード
画像モード標準、影付1、影付2、凹凸
試料可動範囲X:±17.5mm、Y:±17.5mm
最大試料寸法70mm径
最大試料厚さ50mm
電子銃プリセンタードカートリッジフィラメント
検出系高感度4分割半導体反射電子検出器
自動画像調整機能オートフォーカス、オート輝度
画像メモリ画素640×480画素、1,280×960画素
画像データ保存PC付属ハードディスク他記録媒体
画像形式BMP、TIFF、JPEG
データ表示ミクロンマーカー、、ファイルNo.、日付、コメント入力
排気系(真空ポンプ)ターボ分子ポンプ:30l/s 1台 ダイアフラムポンプ:1m3/h 1台
真空検出ピラニーゲージ
操作補助機能ラスターローテーション、倍率プリセット(2段)
ノートPC電源AC100-240V(最低90V、最高250V)80VA、 付属ACアダプタ(2Pコンセント)接続
本体電源AC100-240V(最低90V、最高250V)500VA、 周波数:50/60 Hz
寸法・重量本体部:330×606×550 63kg(マニュアルステージ仕様)
ダイアフラムポンプ:145×256×217 4.5kg
(*1)倍率ステップ:15、18、20、25、30、40、50、60、80、100、120、150、180、200、250、300、400、500、600、800、1000、1200、1500、1800、2000、2500、3000、4000、5000、6000、7000、8000、9000、10,000、12,000、15,000、18,000、20,000、25,000、30,000
(*2)D(距離)は、高感度4分割半導体反射電子検出器下面から試料表面までの距離を表しています

TM 3000の特徴

(1)小型デスクトップ型の電子顕微鏡
(2)光学顕微鏡に比べ、高いフォーカス深度・購買率観察が可能
(3)面倒な試料の前処理が不要
(4)直径:70 mm、厚さ:50 mm までの試 料が搭載可能
(5)パソコンによる操作と、フォーカス・明るさの自動調整機能を搭載
(6)電源ONから観察まで約3分
(7)電源コンセント接続のみで動作可能(AC 100 – 240 V :5 A 以下)
(8)観察モード、観察条件設定の切替えにより、状況にあわせた観察が可能

稼働状況

2018年11月
1
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5
6
7
終日
エネルギー_宗像研
8
終日
自然科学_中嶋研
9
終日
エネルギー_小林研
10
11
12
午前
午後
エネルギー_宗像研
13
終日
機械_機械材料
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終日
エネルギー_宗像研
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・・・分析申し込み可能日 ・・・申し込み受付不可または休日 ・・・稼働日

卓上型分析走査電子顕微鏡(TM3000/EDS)