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Service List顕微PL装置

装置について

装置写真

半導体のフォトルミネッセンス(PL)を測定する装置です。半導体に光を照射することで、電子と正孔が生成され、それがまた再結合することで、バンドギャップに対応したエネルギーの光が発生します。この光を分光装置によりスペクトルとして得ることで、半導体の特性を評価することが可能です。本装置は特に、微細な半導体発光デバイスの評価のために、顕微鏡によって励起レーザーを局所領域に絞ることができるため、デバイスの特定領域の発光特性を評価することが可能です。光ディテクターは近赤外領域であり、光通信に重要な1.55μm帯の発光素子の評価に優れています。

装置仕様

メーカー・形式HORIBA・顕微フォトルミネセンス測定装置(iHR320他)
励起レーザー波長532 nm, 980 nm
対物レンズ×100, NA=0.5 
口径比f/4.1
分光器iHR320 (焦点距離: 320 mm)
検出器SymphonyIGA-1700
波長レンジ:800 nm~1600 nm,512X1ピクセル,液体窒素冷却

SymphonyIGA2200
波長レンジ:1050 nm~2050 nm,512X1ピクセル,液体窒素冷却
その他入射電動スリット
自動試料ステージ(マッピング可)
低温クライオスタット(20 Kまで)
ウェハ面内スキャン<測定可能

稼働状況

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