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Service List分光エリプソメータ

装置について

装置写真

装置仕様

メーカーHORIBA Jobin Yvon
形式UVISEL
用途半導体、ディスプレイ、太陽光発電、光学コーティング、光エレクトロニクス、バイオおよび化学などの分野における薄膜・表面・界面の特性評価と、(Ψ、Δ)のの値のための測定
波長領域210〜880 nm
光源75W Xe-ランプ
サンプルステージ150mmウェハ対応、XY軸は固定
〈位置合わせ〉
高さ(20mm)、傾斜、θの手動調節、オートコリメーション
ゴニオメータ固定、入射角度が55°〜75°において5°刻み設定

稼働状況

2018年11月
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分光エリプソメータ